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  对于高真空/超高真空系统，当系统内的压力低于10-6毫巴以后，系统内氢气占的比例越来越大，而此时氢气的返流也越来越明显，因此此时分子泵的有效抽速已经与产品说明书给出的参数相差很大了。分子泵对氢气的压缩比越大，安捷伦分子泵控制器维修，分子泵对氢气的实际有效抽速就越大；反之，则实际有效抽速已经所剩无几。

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安捷伦涡旋式干泵SH-110 Agilent真空泵干式真空泵应用于扫描电子显微镜、实验室应用、干燥炉、手套箱、低温泵的、检漏仪、分子泵机组的前级泵。

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