东沙群岛安捷伦分子泵TwisTorr 74 FS-潽拓光电

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安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。

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安捷伦SH-110是业内的干式密封涡旋泵，可以方便地组装到原始设备制造商(OEM)系统中。这种单级泵体积小巧， 抽速110升/分(频率60Hz) ，极限压力50 mtorr (0.07 mbar) ，安捷伦分子泵TwisTorr 74 FS，许多终用户应用的理想选择。

SH-110泵符合欧盟(CE)、加拿大标准协会(CSA)和Semi S2-0200的要求。

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轴承润滑方式有油脂润滑、油绳润滑和离心供油润滑等方式。分子泵轴承润滑油的性能必须具备以下三个条件，才能满足泵的工作要求：

a、高速下具备良好的润滑性能；

b、饱和蒸气压低于前级泵工作液的饱和蒸气压；

c、粘度适当，使之兼有轴承冷却液的作用。