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pfeiffer分子泵拆解

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SplitFlow系列的涡轮分子泵主要用途:可以用一台泵同时对质谱系统的两个或三个腔体进行抽气。

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     Pfeiffer TMH071P普发涡轮分子泵进气法兰口DN40 ISO-KF,出气法兰口DN16 ISO-KF ,抽速可达到33 L/s,转速为90000rpm,对应的控制器为:Pfeiffer TC100,Pfeiffer TC600等。

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