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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵（10-3至10-8托）或极高机械泵（

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美国安捷伦Agilent TV81M就是意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵，又称为Varian TV81-M分子泵，其与瓦里安的同门兄弟Varian Turbo-V 81-T，都是varian TV81系列，转速都是80000，安捷伦Turbo-V3K-G真空泵维修，DN63口径时，抽速都是77L/s，启动时间都是60秒，分子泵电源可以相互通用

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TwisTorr 304 FS 分子泵维修

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分子泵是高速运转的机械设备，滚动轴承常见故障很有可能会导致泵叶子粉碎立即损毁；而当滚动轴承运行状态欠佳时，会出现一系列的状况，如分子泵无法启动，运作噪声扩大，溫度或输出功率出现异常提升等，在清除外部自然环境和进排气管工作压力过高外部要素后，应尽早停泵，送至维修站开展维修。