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现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分，只有两类，即：

① 容积式的干式真空泵， 例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa， 抽速为0.01～0.04m3/s。

② 动量传输式的无油真空泵，如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接，在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵，可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构，多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa，广州varian， 抽速为0.02～0.15m3/s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。

氦质谱检漏仪检测开始时出现的故障

1、检漏键无效(绿色指示灯亮)

检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。

2、检漏键无效(指示灯不亮)

I/O短接插头未插入氦质谱检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时氦质谱检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，varian真空泵维修服务商，检漏键无效。

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抽空和工艺流程：

a、一台镀膜设备的工艺流程，都是由设备的主控电脑来进行控制的，前级泵、罗茨泵和干泵等的开启和关闭，分子泵的运行，它们之间的逻辑互锁；

b、异常停机后的恢复，工艺流程的优化等，都是由设备的电脑的程序来进行有序控制的；

c、对于油泵，建议把气镇功能始终打开，避免气体中的水以及易凝结的气体进入泵的润滑油里面，同时也可以减少所需工艺的抽气时间；varian T250 PUMP分子泵维修

d、旋片泵的泵油非常重要，一定要选择推荐的合适的泵油。通过视窗可以观察油位、颜色和粘度，需要定期更换泵油；

e、正确选择泵油过滤器，可以增加泵油的使用寿命、减少泵的磨损、延长泵的使用寿命；varian T250 PUMP分子泵维修

f、磁耦合连接轴方式，其密封性非常好、低磨损、无动态密封的密封圈、工艺的安全性更高，适合于防爆的应用场景；

真空泵油是:一种*业为真空技术上的根据而研发的润滑脂，分矿物质机油和合成机油二种。性能特点空气氧化可靠性:长期性在高溫情况下与气体，环氧树脂，化工原料等直接接触亦不容易霉变，降低损害漆层和油污的产生，给予较长的换油周期时间。防锈处理防腐蚀性:能在金属表层 产生十分合理的防腐蚀膜，进而能够避免因吸进腐蚀性汽体和水分而致使的系统软件浸蚀。能尽快将液压油中带入的水分提取出来，做到需要的真空值。具较底的饱和蒸汽压，避免成品油从泵的内壁向超滤装置反流蔓延导致返油。进而确保有充足的*限真空泵。

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旋片卡阻：主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，致使电机无法带动旋片。原因是旋片变形，转子内的弹簧张开后不能复位，或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大，导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大。这时就应及时修复旋片和弹簧，若不能修复则应更换。varian TV 902分子泵维修

盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽，varian真空泵维修服务公司，然后将数块圆盘串接起来构成，型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。抽气时靠高速转动的圆盘对气体分子进行“拖动”，使其沿沟槽作由内向外及由外向内的往复折回的定向流动，从而达到抽气目的。varian TV 902分子泵维修

真空泵机组之旋片真空机组

以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵.varian TV 902分子泵维修

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