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广州潽拓光电科技有限公司——varian真空泵维修服务费用
溅射离子泵无油超高真空系统。此系统是获得清洁超高真空的主要手段,可以获得10-9Pa的真空度,一般由溅射离子泵、钛升华泵与分子筛吸附泵或者是与涡旋泵、液氮阱等共同组成,可以获得清洁的无油超高真空系统。由于溅射离子泵的启动压力在1Pa以下,而且对有机蒸汽敏感,因此在使用时需要对其进行*底的烘烤除气,并用预抽泵抽走烘烤释放出的气体。
在安装泵之前,应在进气口和出气口打开的情况下检查电机旋转方向。从电机端看,驱动轴应逆时针旋转。注意电机或外壳上指示旋转方向的箭头。如果电机转向错误,可以通过在电机连接端子块上互换两相来纠正。
电机功率、转速是和真空泵相匹配的,不能更改。风扇安装于电机主轴上,电机转速决定了风扇转速,也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用,但叶片数量增加后,动平衡不容易找,如找正不好,会引起电机振动增加
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盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽,然后将数块圆盘串接起来构成,型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。抽气时靠高速转动的圆盘对气体分子进行'拖动',使其沿沟槽作由内向外及由外向内的往复折回的定向流动,从而达到抽气目的。varian T250 PUMP分子泵维修
筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开一定断面形状的沟槽,如矩形、圆弧形、三角形及其它形状的多头螺旋槽。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上,因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递,提高泵的抽气效果。在设计制造中,varian真空泵维修服务费用,可以通过改变螺旋沟槽通道与抽气方向之间的夹角 ( 螺旋升角 ) 来达到较理想的抽气效果。varian T250 PUMP分子泵维修
当轴和轴套配合过紧时,再加滑润油路不通畅,也会因互相粘碾卡死泵长时间不用,泵腔内生锈;泵在湿度较大的环境下运转或抽除潮湿气体,使泵油变成乳浊液或泵油结垢甚至结壳泵油粘度过大(冬天);转子在启动瞬间被打裂;有些泵的高、低真空室气道上有半圆槽,其上压的橡皮板被压得太紧,堵死了中间气道通路等等,均易使泵卡死。这种毛病常常是很危险的,因在卡死瞬间,由于转子使电动机超负荷或转不动,易使电机烧毁。即使不烧电机,如不及早停车修理,则会辗坏泵腔,打坏旋片,扭坏转子,烧坏端面等,其后果总是很不好的。varian T250 PUMP分子泵维修
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广州潽拓光电科技有限公司——varian真空泵维修服务费用复合分子泵维修
真空泵维修,问题3、漏油:旋片式机械真空泵*常见的故障之一,主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上,其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化,密封失效,从而导致漏油。解决办法:更换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫,维修完成后,注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵,并用溶剂清洗注油口处的滤网,以保持油箱的清洁。复合分子泵维修
在复合分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。因此,在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构,以提高泵的抽气性能。复合分子泵维修
随着复合分子泵的不断改进,其应用领域越来越广,在某些抽气系统上可以替代扩散泵,缩短了系统的抽气时间,并可获得无油污染的清洁真空环境。
高真空泵有哪几种
分子泵、冷泵、油扩散泵、罗茨泵、涡轮分子泵、钛升华泵
特点和应用场景
高真空泵具有高抽吸力、长寿命、低功耗的特点,广泛应用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。由于结构原因,高真空泵不能在较差的真空状态下工作,通常需要串接前级泵预抽真空。
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