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真空泵的分类：

按工作原理分类：

1、气体输送泵，包括变容真空泵、动量传输泵；

2、气体捕集泵，包括吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵。

按真空度分类：

1、粗真空度；

2、高真空度，包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵；

3、超高真空度。

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分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体;除了耐腐蚀型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体，耐腐蚀型泵在抽除腐蚀性气体时，安捷伦Turbo-V1000维修厂家，必须给分子泵的保护气体入口连续通惰性保护气体如氮气等，且泵油使用我公司提供的*用耐腐蚀分子泵油。

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对于高真空/超高真空系统，当系统内的压力低于10-6毫巴以后，系统内氢气占的比例越来越大，而此时氢气的返流也越来越明显，因此此时分子泵的有效抽速已经与产品说明书给出的参数相差很大了。分子泵对氢气的压缩比越大，分子泵对氢气的实际有效抽速就越大；反之，则实际有效抽速已经所剩无几。