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广州安捷伦真空泵-广州潽拓光电公司

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对于高真空/超高真空系统,当系统内的压力低于10-6毫巴以后,广州安捷伦真空泵,系统内氢气占的比例越来越大,而此时氢气的返流也越来越明显,因此此时分子泵的有效抽速已经与产品说明书给出的参数相差很大了。分子泵对氢气的压缩比越大,分子泵对氢气的实际有效抽速就越大;反之,则实际有效抽速已经所剩无几。

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Agilent TV-301 Tubro涡轮转子由永jiu润滑的高精度陶瓷球轴承支撑,该轴承安装在泵的前排侧。定子的静叶片由不锈钢制成。这些由垫片环支撑并精que定位。Macrotorr定子采用自定位的机加工盘形式,具有泵送通道和受相应转子盘限制的开口。这些由铝合金制成。

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涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵输送气体应满足二个必要条件:1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度

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