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莱宝涡轮分子泵维修公司-潽拓光电(在线咨询)-莱宝涡轮分子泵

询盘留言|投诉|申领|删除 产品编号:596832386                    更新时间:2025-05-07
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   TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,莱宝涡轮分子泵,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,莱宝涡轮分子泵价格,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。

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Leybold德国莱宝所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滚珠轴承,莱宝涡轮分子泵修复,轴承终生脂润滑。

陶瓷滚珠较钢滚珠更轻、更硬和更光滑。因此,使用陶瓷滚珠,座圈的磨损明显降低。延长轴承和分子泵的寿命延长。

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Leybold Turbovac 340 ML分子泵维修产品属性:类型:其他

泵材质:不锈钢

泵用途:化工

型号: Turbovac 340 ML

泵轴位置:边立式

叶轮数目:多级

适用范围:真空设备

流量:270

扬程:2

吸入口径:DN100

排出口径:DN16

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