inficon英福康氦气检漏仪-潽拓光电

广州潽拓光电科技有限公司——英福康氦气检漏仪

Inficon 英福康是家跨国公司，其真空计在欧洲瑞士边的一个小国:列支敦士敦生产，其氦质谱检漏仪在德国生产，

其大质谱等在美国生产。 另外，inficon英福康氦气检漏仪，其在上海生产PGD400 真空显示器，在瑞士生产真空阀门，在罗马尼亚生产VGC

501， VGC502及 VGC503 等真空显示器

INFICON  BPG400英福康真空规管电压20-28V，功率18W，适用于：解析工程，蒸发和涂覆系统，真空炉，镀膜设备，一般压力测试

应用

高真空测量

真空系统

工业镀膜设备

一般真空测量应用

通常，对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成，而应采用复合真空计，应用较多的是电离与热偶式复合真 空计。它的测量范围为13.33--666.6×10-8Pa。热偶真空计测量(10-1--10-3)×133.32Pa的低真空;电离真空计测量 133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。复合真空计附有一个热偶规管、一个电离规管，分别接在真空系统上，通过旋钮可分别给两个规管加热，并选择使用。

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一般检漏都采用氦气(H作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，差压气密性检漏仪，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。检漏仪应用制冷行业：冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

可以想象一下，如果腔体内部不是真空环境，离子在飞行的过程中就会发生碰撞，从而导致离子飞行的路径改变或者发生碎裂，质谱仪就无法分析和检测离子。inficon 英福康真空泵维修

所以，真空环境成为质谱分析的必要条件，二者进步是相辅相成的，真空技术的进步推动了质谱的发展，而质谱的发展又促进了真空技术的进步。

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真空箱法氦质谱检漏的充气回收检漏系统

1．配置与气路控制

真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。英福康检漏仪价格

工件抽空系统：低真空泵及阀门，英福康氦气检漏仪价格，低真空测量充氮与回收系统：氦气储存罐(高压罐)，氦气回收取罐(低压罐)，英福康氦气检漏仪保养维修，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。

真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、PLC系统(可编程逻辑控制器)，充氦回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，避雷器氦检漏仪价格，对检漏过程和结果显示。

2.系统检测过程

1)、通过v1、V4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭V1，打开V2

2)、充氦系统通过V2对工件进行充氦至核定的压力，稳定，氦检漏仪价格，关闭V2

3)、关闭V4，肇庆英福康氦气检漏仪，打开V3、V5，处在正常工作状态待命的氦质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断V3、V5，高压开关氦检漏仪价格，打开V2对氦气进行回收。英福康检漏仪价格

4)、关闭V2打开V6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。

5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的氦气回收，对真空箱和管道巾的氦气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。

6)、维持泵有一定的氦分流作用，不宜过大(不超过41)，清洁泵也同样。

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