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抽气量不足，真空度不足

当爱发科真空泵抽气量不足，就是真空度达不到要求，低真空，这个情况首先检查爱发科真空泵油是否充足，爱发科真空泵油是否干净，如果真空泵油不足，首先加油，加油后，真空度达到要求，就是爱发科真空泵油不够导致。如果爱发科真空泵油充足，或者是换油后，爱发科真空泵还是真空度不足，有可能是爱发科真空泵密封套件老化，爱发科进口真空泵维修保养，泄气导致的，这个就需要*业技术人员拆开进行更换保养。ulvac爱发科分子泵维修

定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

真空泵组阀片可以有效地减少多余功耗的投入，增加和效率下降阀片，经常是下部紧贴在真空泵机组端面圆盘上，上部摆开一个角度，被扭曲成“S”形，经过长时间的使用会出现设备老化的情况。此时设备的工作状态出现问题，阀片中间应力过于集中，加快了其他部件的疲劳和破坏程度，减少了设备使用寿命，导致阀片从中间部分出现断裂情况，影响正常使用。

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使用真空泵过程中，难免会出现冒烟和喷油的现象，而这些现象又该怎样处理呢？

1、冒烟，如果是泵刚刚开始运转有冒烟的现象，属于正常，如果长时间在冒烟就是不正常了。解决之道：冒烟说明泵的进气口外，包括管道、阀门、容器有修理的情况。检漏以后处理了，冒烟会结束。

2、喷油，说明进气口外有大量的漏点，甚至是进气KOU暴露大气。解决之道：封住泵的进气口使泵运转，如果不喷油的话，说明有漏点；排气阀片损坏，检查排气阀片是否损坏，更换坏的排气阀。

真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000Pa。处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示“差”的意思。真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。

抽蒸汽

大多数的旋片式真空泵厂商会对设备的蒸汽耐受性为多少hPa 或蒸汽的容量为多少克/小时进行详细说明。这些信息指的是水蒸气。当气镇阀开启且真空泵处于工作温度时，如果进气压力低于给出值，那么泵出的水蒸气就无法冷凝。在干燥过程中，泵的大小并非是由泵速按照蒸汽量的大小而决定，而是由每单位时间收集的水量决定。因此，当务之急是使用封闭的真空侧阀和开启的气镇阀对泵进行预热大约15 至30 分钟，以达到其Z佳的工作温度(油)(大约为70-80 °C)。只有在正确的工作温度下才可经由开启的气镇阀将蒸汽泵出。延迟开启的高真空阀很容易被集成到控制系统中。下表显示了泵的温度依赖关系以及违规操作的后果。

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喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵

复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。

在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。

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