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真空技术一般由真空获得、真空测量、真空检漏、真空系统等部分内容组成。真空测量所述及的范围，要从大气压开始直至 10-'Pa 左右，跨越了十几个数量级。在这样宽广的玉力范围内，是不可能只用一种量计来完成的。于是目前已出现了近十种不同工作原理上百种不同类型的真空测量计具，简称真空计。

在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。

这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

皮拉尼型真空计性能特点

优点:

较大的测量范围

较好的重现性

制作成本较di，价格比较合适

较快的相应时间

缺点:

不同的气体类型影响测量精度(通常要以氮气或空气校准)

测量对污染敏感的

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压电阀是利用压电效应制成的一种真空气体流量调节阀。压电阀的部件是由压电陶瓷制成的具有压电特性的膜片。当在压电陶瓷膜片上施加一控制电压时，它将会产生正比于外加电压值大小的变形。同时，带动密封垫移动。于是压电阀流导产生变化，从而改变气体通过压电阀的流量。英福康真空计维修保养

当压电陶瓷膜片上未施加控制电压时，由于弹簧的机械力作用在压电陶瓷膜片和密封垫上，使压电阀气路关闭。因而，可以通过改变施加在压电陶瓷膜片上的控制电压的大小，来改变压电阀的流导，从而改变流过压电阀的气体流量。于是，可实现真空装置的真空室中的真空度调节。英福康真空计维修保养

电容薄膜真空计

属弹性元件真空计，弹性薄膜将规管真空室分为两个小室，即参考压强室和测量室。测量低压强 (P

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电源接通后加热电流和测量均无指示。故障产生原因可能包括：指示表电动圈部分断路；热偶规管灯丝断路或规管连接电缆部分断路；无加热电流；加热电流调节电位器断路；与指示表串联的电阻断路。对应的维修方法：更换指示表；更换热偶规管及检修规管连接电缆；检查稳流电源有无电压输出；检修调节电位器及其线路；更换电阻。英福康真空计维修公司

真空压力表必须垂直安装，力求与测保持同一水平，东沙群岛英福康氦气检漏仪，如相差过高计入液柱所引起的附加误差，测量气体时可不必考虑.安装时将表壳后部防爆口阻塞，以免影响防爆性能.正常使用的测量范围:在静压下不超过测量上限的3/4，在波动下不应超过测量上限的2/3.使用时如遇到仪表指针失灵或内部机件松动﹨不能正常工作等故障时应进行检修.真空压力表应避免震动和碰撞，以免损坏。英福康真空计维修公司

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