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所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气，仪器的反应时间不大于3s。所谓“*小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min 内输出仪表的*大波动量。氦质谱检漏仪维修厂家

需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具如管壳的检漏。检漏仪正常工作后，用标准漏孔进行漏率校准，就可以对管壳作喷吹检漏，先将夹具固定在检漏口，待测管壳放在夹具上面的橡皮板上，辅助抽气系统将其抽至预定真空后自动接至仪器的测量系统。然后用喷*连续向管壳喷氦气，时间一般1～3秒，当管壳存在漏孔时，氦气将通过漏孔进入仪器的质谱分析部分，漏量大小在漏率表上直接显示出来，这种方法即能判断漏孔的位置也可测量漏孔的大小。整个检测周期只需一分钟。氦质谱检漏仪维修厂家

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在工业生产和科学实验中，往往希望真空装置的真空室中的真空度能按真空工艺的要求，inficon英福康真空计保养厂家，维持在某一给定值上。这种要求通常可以通过手动调节真空微调阀来完成，倘若希望自动地完成压力调节，就要借助于压力控制仪来完成。英福康真空计保养

如用一附加的热偶测量热丝的温度，则这种规头称为热偶规；如利用热丝本身的电阻值来反映温度，则称电阻规或皮喇尼规。气体热传导只在低压强 (P

氦质谱检漏技术是真空检漏领域不可或缺的技术，利用该技术检漏*率高，操作方便，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体干扰，上述方法在检漏技术领域中经常使用，包括从小泄漏检测到大泄漏检测，从确定泄漏检测到确定泄漏率泄漏检测，更quan面地列出各种泄漏检测方法，相信在工程实际应用中具有良好的参考价值。

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分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔

氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小.其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。氦质谱检漏仪

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