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多级离心泵和单级离心泵的区别，重点在于叶轮的数量上。多级离心泵的特点是压力大，流量小。单级离心泵是只有一级叶轮，特点是压力低流量大。

循环冷却水的硬度

循环水在真空泵中的运行过程，与低压热水锅炉中锅水运行过程很相似。酸、碱浸蚀处理：去油后进行浸蚀处理，目的是去除金属表面的氧化物，经过热处理的零件，油污已不存在，可直接进行浸蚀处理，以去除退火后的氧化层。因此，按照热水锅炉水质标准来管理真空泵水质，既可防止真空泵结垢又可防止水环真空泵腐蚀。循环水系统大都是敞开式循环系统，回水率比较高。在因资金等原因不采用离子交换设备进行水处理的情况下，一般利用一个软化水池加一个高位水池对真空泵进行供水。

总装配: 零部件和各真空室分别装好后，ULVAC高真空分子泵保养费用， 要试使其转动一下， 要保证其无阻滞绞绊现象。待Z上面的前端盖装好后， 即可从上向下穿入拉紧螺栓， 拉紧后即可将机座放平。调整各真空室的进气管， 使其在同一平面上， 然后把拉紧螺栓拧紧， 并试转动连接杆， 其转力矩应小于100 公斤?公分， 且无严重的局部阻滞感。*后装好排气阀门、单向阀等。这时可转动链轮。这样各机座就已装配完毕。Z后按前述拆泵时相反次序装配箱体部分。注意保证密封处不准漏气， 油密封室亦不准漏油。在箱盖未装之前， 装入真空泵油至视窗中心。然后试抽测， 观察有无异常情况。

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抽气量不足，真空度不足

当爱发科真空泵抽气量不足，就是真空度达不到要求，低真空，这个情况首先检查爱发科真空泵油是否充足，爱发科真空泵油是否干净，如果真空泵油不足，首先加油，加油后，真空度达到要求，就是爱发科真空泵油不够导致。如果爱发科真空泵油充足，或者是换油后，爱发科真空泵还是真空度不足，有可能是爱发科真空泵密封套件老化，泄气导致的，这个就需要*业技术人员拆开进行更换保养。ulvac爱发科分子泵维修

定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

真空泵组阀片可以有效地减少多余功耗的投入，增加和效率下降阀片，经常是下部紧贴在真空泵机组端面圆盘上，上部摆开一个角度，被扭曲成“S”形，经过长时间的使用会出现设备老化的情况。此时设备的工作状态出现问题，阀片中间应力过于集中，加快了其他部件的疲劳和破坏程度，减少了设备使用寿命，导致阀片从中间部分出现断裂情况，影响正常使用。

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喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵

复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。

在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。

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