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涡轮分子泵工作原理

包括转子和定子叶片排列的泵送作用是基于将脉冲从快速旋 转的叶片传输给被泵送的气体分子。与叶片碰撞的分子被吸 附在叶片上，然后在一段时间后再次离开叶片。在该过程 中，叶片速度被加到热分子速度上。为确保由叶片传输的速 度成分不因与其他分子碰撞而损失，分子流必须在泵中占主 导地位，即：平均自由程必须大于叶片间距。

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旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧的密封吸入室。因此，在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始冷凝前排出置换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力，高于无气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油，也成为工作液，pfeiffer分子泵有噪音，在旋片式真空泵种泵油有多个任务要求执行。它润滑所有移动部件，填充的出口

阀下的固定空间以及缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工作室之间的间隙，此外还通过热传递确保jia温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现相对更低的极限压力。此外，气镇对极限的影响较低，因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。真空安全阀在有意或意外停顿的情况下

将泵与真空室隔离，并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液上升到真空室中。在开启泵后，一旦泵中

的压力已达到真空室中的近似压力，它稍作延迟就打开。