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XDS 泵的设计极具创新性，采用轴承屏蔽将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来，使之不仅完全干燥，而且完全密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。

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真空泵在不同的工作压力范围和不同的工作要求下使用不同的类型。分子真空泵，它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之获得定向速度，爱德华磁悬浮涡轮泵服务，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

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