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广州潽拓光电科技有限公司——varian真空泵维修服务商真空泵维修服务公司

1、 分子泵的安装方式：

a、 避免分子泵与所连接设备直接产生应力；

b、 分子泵的可维护性和方便保养；真空泵维修服务公司

c、 分子泵的排气口要朝下，防止冷凝物堵塞；

d、 分子泵的排气口不要正对前级泵的进气口；

e、 分子泵和前级泵之间根据工艺气体而安装合适的过滤器；

f、 在前级旋片泵的出口安装冷凝回油装置；真空泵维修服务公司

g、 分子泵运行时，一定要开启分子泵的冷却水，分子泵停止时关闭

电机、真空泵运异常。电机超负荷运转、真空泵在运转中异常杂音、噪声、转动困难或发生“卡死”现象。

1.真空泵温太高，可参照1款(1)项处理。

2.弹簧变形或断裂，使旋片受力不均匀而发出冲击声。解决方案：更换弹簧。

3.装配不当，造成单面磨损。解决方案：重新装配。

4.过滤网损坏，金属屑、玻璃屑等落入真空泵内，使运转发生障碍。解决方案：拆真空泵检查、清除碎屑，修复或更换磨损部件，并装好过滤网。

5. 真空泵腔内污染严重，导致零件锈蚀。解决方案：拆真空泵请洗，去除锈斑，并换油。

真空泵由于某种原因引起电动机超负荷运转，甚至转不动，真空泵维修服务公司，通常习惯上把这种现象就叫“卡死”真空泵发生卡死的原因是:弹簧损坏，使旋片受力不匀;装配不当，使某局部受力;真空泵维修服务公司，由于进气口的滤网丢失或损坏，使外部脏物，金属屑、玻璃屑等落入泵腔内。此外，泵转子、旋片端面与端盖间的间隙过小，摩擦发热使旋片伸长或过热过紧的摩擦加之旋片硬度过大，与毛刺互相碾括，使端面产生深划痕，后烧结卡死。真空泵维修服务公司

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真空是指在给定的空间内低于一个大气压的气体状态或稀薄的气体状态，可分为低真空、中真空、高真空、极高真空。真空泵是使用*广泛的真空获得设备。真空泵维修服务公司

因此为保证罗茨真空泵能达到较高真空度，需保证罗茨真空泵转子及与泵腔之间的间隙。所以大部分中高真空罗茨真空泵使用时必须配备前级泵，利用前级泵将系统内压力抽至一定范围，再启动罗茨真空泵，保证合理范围内的出入口压差，这样就可以避免罗茨真空泵因高压差而导致过载。真空泵维修服务公司

真空泵抽不出液体

1、没有灌注液体？

答：重新灌真空泵

2、吸入管、出管或真空泵的流道堵塞？

答：消除杂物

3、吸入管或真空泵内没有排净气体？

答：检修吸入管路并排净气体

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广州潽拓光电科技有限公司——varian真空泵维修服务商真空涡轮分子泵维修

分子泵应用常见问题：

1、分子泵运行以前请确定分子泵安裝妥当，电缆恰当联接并确定处在卡紧情况。

2、分子泵在接电源后及一切正常运行时旋转工件是由磁场力支撑点飘浮的，请尽.量不必碰触泵壳及控制板，非常是电缆，肯定不可以碰触。

电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，varian真空泵维修服务商，分子泵温度升高等。

间隙一般为0.1～0.8毫米；不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高，加工精度易于保证，故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450～4100转/分;抽气速率为30～10000升/秒（1升=10-3米3）；极限真空：单级为6.5×10-2帕，双级为1×10-3帕。真空涡轮分子泵维修

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