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安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间（5年以上），或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。

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Varian TV401-301 的涡轮转子采用Varian砖利的“MacroTorr”技术设计加工而成，整个涡轮转子整体成型，共有由11层叶片组成，qian七层为标准叶片，每层的角度从高到低，后四层为Varian 砖利技术的“Macrotorr”die片组成，涡轮转子其在分子泵内部以60000转／分钟的速度高速旋转

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VARIAN TURBO-V301 NAV cu 瓦里安分子泵控制器维修

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分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？

答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是方式？

答：电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

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压缩比   涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同，泵对各种气体的压缩比也不同。气体分子量M 的平方根与压缩比K 的关系如图6所示，泵对氢的压缩比很小，一般为1000 左右，瓦里安涡轮分子泵水冷，这样一来如果前级管道中氢的压力为1 10- 7 Torr（13.33 Pa），那么进气口处氢的压力则小1000倍，即为1 10- 10 Torr（13.33 nPa）。