广州市爱发科涡轮分子泵异响-广州潽拓光电(图)

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真空度不足

原因分析：（1）水环工作不稳定。如果进水管发生了结垢以及进口电磁阀出现了堵塞情况的时候，泵工作水供应就会因此而出现不足，从而使得水环工作不稳定，此时泵由于偏离设计工况而运行，必然会存在出力下降的情况，进而导致系统真空度下降。应对方法是清除进水管结垢，并使进口电磁阀保持通畅。（2）进口单向阀失效。当阀片由于结垢、存在锈蚀后或发生卡涩吸不上去的时候，就会导致串气现象发生，即空气会从备用泵入口被吸入工作泵，从而使得泵功耗增加以及系统真空度发生下降。应对方法是清除阀片结垢或更换新的阀片。（3）密封不良。在轴端密封不良或密封失效的情况下，如果有外部空气被吸入了真空泵内，就会导致系统真空度发生下降情况，并伴随泵的两个进气管出现温度不相同等现象。爱发科真空泵维修

从排气阀排出的被抽介质和油经过分离式排气帽时， 气体和一部分蒸汽由排气口12 排出， 灰尘、杂质及被污染的油沉入主油箱底部后， 通过回油管流入副油箱; 经过分离、沉淀， 乳化后油、水、灰尘杂质沉入副油箱底部由排放阀13 定期放出， 而相对干净的油则由设于副油箱中上部的过滤器过滤后进入与泵联动的阀门， 再经进油管进入分油腔后供给端盖和泵腔工作。阀门与泵联动， 即泵工作时， 阀门启动， 油路口打开充气口关闭; 泵停止时，阀门油路口关闭， 同时充气口打开， 大气从进气口经进油管向泵腔充气而破坏泵腔内真空， 使泵油无法进入泵腔。爱发科真空泵维修

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三、热传导加热式

它是由导热性能良好的氧化铍陶瓷为芯，内串以铼钨丝制成的加热器。陶瓷芯上先绕一层钼箔，防止钛与氧化铍直接接触起反应，避免钛的加剧消耗。钛带缠绕在钼箔上，它们之间用氧化铪-甘油浆涂敷。

这种升华器从结构上将加热源和升华源分成两部分。利用放在钛球内的螺旋钨丝，由电阻加热作热源，利用辐射加热钛球，使钛不断地升华。

真空度不足

原因分析：（1）水环工作不稳定。如果进水管发生了结垢以及进口电磁阀出现了堵塞情况的时候，泵工作水供应就会因此而出现不足，从而使得水环工作不稳定，此时泵由于偏离设计工况而运行，必然会存在出力下降的情况，进而导致系统真空度下降。应对方法是清除进水管结垢，并使进口电磁阀保持通畅。（2）进口单向阀失效。当阀片由于结垢、存在锈蚀后或发生卡涩吸不上去的时候，就会导致串气现象发生，即空气会从备用泵入口被吸入工作泵，从而使得泵功耗增加以及系统真空度发生下降。应对方法是清除阀片结垢或更换新的阀片。（3）密封不良。在轴端密封不良或密封失效的情况下，如果有外部空气被吸入了真空泵内，就会导致系统真空度发生下降情况，并伴随泵的两个进气管出现温度不相同等现象。

维修处理：检查轴端，确保密封严实。有时密封水泄漏量会发生偏大的现象，如果误判是盘根压紧力不足所导致，进一步压紧盘根后，会导致摩擦力因此而增大，爱发科涡轮分子泵异响，进而使得轴功率升高。此时真实原因可能是工作水量过大，所以压紧盘根不能盲目。

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真空泵排出来的油蒸气对环境的影响。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。真空泵底座下应保持地基水平，结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。高真空分子泵维修

双级旋片式真空泵是一种油封式真空泵，为了能在停泵时防止真空泵油返到被抽容器，内置停泵防返油装置就十分重要。高真空分子泵维修

防止停泵返油通常靠气路和油路的结合来实现，常用的方法有：

1、在进气通道上设置停泵防返油装置

2、在油路上设有停泵控制防返油装置

3、以上两种结合

泵工作时振动的产生及其减振措施保证分子泵工作精度的zui主要问题是尽量减少泵工作时的振动。组成分子泵的零部件以及安放它的基础，都可以认为是一个弹性系统。高真空分子泵维修，当分子泵高速运转工作时，泵在其平衡位置作往复性机械运动，即是分子泵的振动。

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