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真空泵维修保养的技巧：

1、在真空泵的使用过程中，如果发现真空泵产生异常的响声，普发进口分子泵TMH261-130，这个时候一定要按照步骤暂停真空泵，对其进行检查原因。

2、定期检查真空泵的轴套，如发现轴套磨损非常严重，要对其进行更换。

3、定期检查真空泵各接线处和结合处是否出现松弛现象，及时处理出现松动的位置。

4、在使用真空泵的时候，要控制真空泵的速度，保证真空泵的流量在使用范围之内，这样既能保证真空泵高xiao运行，并且

可以延长真空泵的使用寿命。

5、真空泵的轴承也是有耐温范围，在使用过程中，轴承的温度不得超过80度。

6、真空泵要定期检查油量及油的品质，油量不足要及时添加，如果真空泵油的品质出现了问题，要及时更换新的真空泵油。

普发PFEIFFER MVP 020-3 DC 隔膜泵

1. MVP 020-3隔膜泵具有220V 24V电压可选

2.具有Z高 1.4 m3/h 抽吸能力的功能强大隔膜泵

3.用于电源电压：100-120 V， 50 Hz 以及 200-230 V， 60 Hz

4.适用于在其中需要干燥、无油真空的应用

抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

解决方法：

更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔；检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时应更换排气阀门。

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单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样，其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积，以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下，轴端是密封的，是利用带水封环的填料进行密封处理的，其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P涡轮分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析设备及氦检仪中分析仪器如氦质谱检漏仪，及小型分子泵组中。德国普发PFEIFFER TMH071 P分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，出气法兰口DN16ISO-KF，抽速可达到60L/s， 转速为90000rpm，极限真空＜1*10E8mBAR; 对应的控制器为PFEIFFER TC600.

当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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真空环境的另一个特点还在于它在较低的温度下、具有进行一定反应的能力，例如在同样温度下，有些反应过程在大气中则难以进行，但是在低压下就十分容易。这就是真空化合物分解和有色金属冶炼的基本原理。

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直联旋片真空泵的返油

(1)真空泵的止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。

(2)真空泵的两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。

(3)真空泵的泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。

(4)真空泵的排气阀片损坏 ，应进行调换。

注：检查直联旋片真空泵的的极限真空，以压缩式shui银真空计为准

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