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广州潽拓光电科技有限公司——英福康分子泵维修厂家氦质谱检漏仪维护

喷氦法

这是用于检测待连接到仪器的设备相对较小部分的zui常用方法，在良好真空后，使用喷在被测设备可能存在泄漏的地方（例如密封接头、焊缝等）喷射氦气。如果被测设备的一个部分存在泄漏，当氦气喷射到泄漏处时，氦气立即被吸入真空系统，当气体分散到质谱仪室中时，氦气泄漏检测器的输出将立即响应。以这种方式，应当注意，英福康分子泵维修厂家，氦是一种轻惰性气体，在被喷射后自动上升，为了准确地将氦喷射到泄漏孔中，应当从上到下和从近到远（相对于检漏器位置）喷射氦。此外，泄漏孔与质谱仪室的反应时间不同，因此，氦注入应从靠近检漏仪的一侧开始，并从近到远进行。氦质谱检漏仪维护

吸氦法主要用于检查一些大型密封容器。例如，弹体、tan头、气罐、油箱等，首先将容器抽真空，然后填充氦气（为了节省氦气量，可以使用低浓度氦气），将橡胶管连接到氦质谱检漏仪的入口法兰，橡胶管的前端设有一个直径非常小的毛细管，使毛细管在焊缝和待检充氦容器外壁的密封接头等处移动，如果容器发生泄漏，泄漏的氦气将被吸入毛细管，检漏仪将作出响应。氦质谱检漏仪维护

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皮拉尼电阻规也叫做热电阻真空计，它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。

由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。

如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提高测量的准确度。这种规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。

由于不同气体在相同气压时导热性不同，所以这种规需要在不同的使用气体下标定

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真空技术一般由真空获得、真空测量、真空检漏、真空系统等部分内容组成。真空测量所述及的范围，要从大气压开始直至 10-'Pa 左右，跨越了十几个数量级。在这样宽广的玉力范围内，是不可能只用一种量计来完成的。于是目前已出现了近十种不同工作原理上百种不同类型的真空测量计具，简称真空计。

在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。

这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

皮拉尼型真空计性能特点

优点:

较大的测量范围

较好的重现性

制作成本较di，价格比较合适

较快的相应时间

缺点:

不同的气体类型影响测量精度(通常要以氮气或空气校准)

测量对污染敏感的

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