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不同气体对皮拉尼真空计的影响

不同气体对皮拉尼真空计的影响因为热量的传递不仅仅与压强有相互关系，同时与气体的摩尔量和分子结构有关系。不同的气体会导致压力测量时得出不同的结果。

在一般情况下，当现有的气体的原子或者分子越大，热传导的能力或者效率越低。

在压力测量中，除少数直接测量外，绝大多数是间接测量。它首先在被测气体中引起某些物理现象，然后在此过程中测量与压力有关的物理量，然后尝试确定压力值。这是真空测量的特点，也会引起一些问题。

皮拉尼真空计用范围

化学工业

电子与微电子领域

气相沉积

电子束焊接

真空冶金

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广州潽拓光电科技有限公司——inficon英福康真空计保养服务咨询 氦质谱检漏仪维修

分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔

氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小.其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。氦质谱检漏仪

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广州潽拓光电科技有限公司——inficon英福康真空计保养服务咨询inficon 潘宁真空计 peg100维修

inficon 潘宁真空计 peg100 可以提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现丝极烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低，潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 profibus dp 或 devicenet 协议，inficon英福康真空计保养服务咨询，将真空计轻松集成到真空系统中。

皮拉尼B-A型复合真空计特点

从 5 x 10E-10mbar至大气压（3.8 x 10E-10Torr至大气压）的很宽广的测量范围

10E-8至10-2 mbar压力范围内，±5%*秀的重复性，inficon 潘宁真空计 peg100维修

BCG450 10Torr以上压力测量无关气体组分

皮拉尼联锁保护Bayard-Alpert系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染

长使用寿命氧化钇铱丝，inficon 潘宁真空计 peg100维修

备有可选的图形显示器和现场总线接口

高真空/皮拉尼自动调节

符合 RoHS 标准

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