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德国普发Pfeiffer MVP 010-3 DC隔膜真空泵

作为普发真空涡轮分子泵前级泵的理想选择

通过其密实度，普发真空的隔膜泵非常适合用于整合日益变小的分析系统和涡轮分子泵组。以每小时0.25立方米的抽速开始，您可以从各式各样的泵中进行选择。这些真空泵强的抽速可高达每小时

4.3立方米。普发真空的隔膜泵有众多优点，效率和可靠性独树一帜。普发真空分子泵维修

真空泵日常检查：

1:经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。

2:定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换

3-:为了真空泵维修保养，真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。

4:真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。

离子泵的工作原理？

1.产生放电；电子碰撞气体分子发生电离

2.离子注入进入钛阴极

3.钛阴极发生磁控溅射，在阳极上沉积钛膜

4.气体分子在钛表面被吸附，然后被掩埋

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单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样，其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积，以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下，轴端是密封的，是利用带水封环的填料进行密封处理的，其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P涡轮分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析设备及氦检仪中分析仪器如氦质谱检漏仪，及小型分子泵组中。德国普发PFEIFFER TMH071 P分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，出气法兰口DN16ISO-KF，抽速可达到60L/s， 转速为90000rpm，极限真空＜1*10E8mBAR; 对应的控制器为PFEIFFER TC600.

当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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真空泵维修注意事项如下：

1、应定期检查油位是否低干油标线。如低干油标线，应及时加油，否则会影响真空泵的真空度。油量也不宜过多，否则会引起起动困难，pfeiffer普发分子泵报价，喷油等问题。

2、应经常注意真空泵运转是否正常，有无特殊声响，电机是否超负荷运转，电机和真空泵的温升是否过高等。

3、用水冷却的真空泵，应防止冷却水中断，真空泵温不得超过70度。若环境温度低干5度，停机后应将真空泵内冷却水放净，以防真空泵体冻裂。

4、真空泵应经带保持清洁，真空泵上不得放置其它物件。

5、注意皮带松紧是否适当。必要时应调整或更换。

6、应每年定期更换了1~3次真空泵油。真空熔炼用的机械真空泵，每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中，真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化，影晌真空泵的性能，因此，需要根据具体情况定期换油

Pfeiffer   HiPace 80普发涡轮分子泵进气法兰口DN 40/DN 63/DN 70（KF/CF) ，出气法兰口DN 16 ISO-KF / G，抽速可达到67 L/s，转速为90000rpm，对应的控制器为： Pfeiffer  TC110 。

当真空室粗抽适度后就关闭粗抽阀门，而粗抽泵还在继续运转时，粗抽管道内的压力降低了会出现分子流状态。碳氢化合物会出现返流，并凝结在粗抽阀盖上或阀的密封处。当粗抽阀再打开时，这些凝结物就有可能离开阀盖或密封处而返流向真空室一侧。在下一个高真空循环周期中这些油蒸汽就会迁移到真空室内而遭到污染。普发分子泵维修费用

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