韶关爱德华edwards真空泵维修大概多少钱-广州潽拓光电科

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STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵是为半导体应用而设计的涡轮分子泵STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵它使用的转子，可实现的性能，大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间，且采用直流驱动，无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用，并得到了。

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涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵，爱德华edwards真空泵维修大概多少钱，有ISO100和CF100两种入口法兰接口，对N2的抽速为240l/s。

基本的分子泵系统通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。

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nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰，具备 300ls-1 的 N2 抽速。

根据应用可使用较小的前级泵。也可使用极限压力小于 5 mbar 的适用隔膜泵，例如 XDD1。

在此入口压力之上，旋转速度会降至低于标称速度。

功率限制设置为 160 W。

空气和水冷却附件须单独订购

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