瓦里安涡轮分子泵进水-潽拓光电(推荐商家)

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气体分子的入射频率　　气体分子在单位时间和单位面积内碰撞固体表面的数量称之为入射频率。入射频率r和压强p[pa]、气体相对分子质量mr、温度t[k]之间的关系表示为：r=2.6×10-24 p/(mrt)1/2[个/(m2·s)] (1-6)

即入射频率和压强成正比例、和气体相对分子质量平方根及温度的平方根成反比例关系。

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分子泵启动的条件：

①、启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

②、启动时间：

同时启动——小系统，瓦里安涡轮分子泵进水，防前级泵油上返。

延迟启动——系统容积过大，先启动前级泵，瓦里安分子涡轮泵碎裂，至系统压强P=200Pa时，启动分子泵。

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真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

原因：油池或密封不良

解决方法：检查油池

分子泵轴承为什么会烧毁

原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘