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分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体;除了耐腐蚀型泵以外,其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体
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分子泵广泛应用于高能加SU器、等离子体物理空间研究、原子束分子束系统、表面物理和分析仪器以及高*电子元器件制造等涉及真空技术的半导体产业、电子信息产业、航空航天工业及科研事业等领域。
Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵系列,对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护量尽可能少和低振动的应用,爱德华高真空分子泵价钱,并且是许多具有挑战性的半导体应用的优选分子泵。大多数 Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵型号均还提供镀镍涂层的内部过流部件和氮气吹扫设备的ZHUAN用耐腐蚀型号。对于实验室应用,STP 磁悬浮涡轮分子泵极为可靠。
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涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
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