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广州潽拓光电——磁悬浮分子泵的振动抑制

  2000 L 磁悬浮分子泵研制中，遇到复杂振动问题：转子弯曲模态共振; 陀螺效应造成动力学失稳; 叶轮叶片导致转子颤振; 成因复杂的机电耦合模态振动。它们同时出现，严重影响转子稳定性，给振动抑制带来困难，需进行精细的控制器设计。控制器中，对不同振动采用不同方法抑制：陀螺效应依靠交叉反馈控制; 弯曲共振、分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动，依靠各种不同的控制器传递函数相位方法。试验验证了方法的有效性，分子泵平稳升速到24000 r/ min，样机达到了设计真空性能指标。

  在分子泵转子设计中，转子一阶弯曲模态频率已经尽量保持远离转子da工作转动频率即400 Hz，但其对转子振动的影响依然不能忽略，尤其在高速运行时，陀螺效应造成一阶弯曲振动反向涡动模态频率下降明显。通常认为传统轴承支承的转子，反向涡动很难被激发，但对电磁轴承转子系统，经常可观察到反向涡动被激发出来。因此，在转子工作于整个转速范围内时，均应为弯曲模态振动提供足够阻尼，避免一阶弯曲正向或反向涡动被激发。事实上，如果电磁轴承振动控制不考虑弯曲模态的阻尼，转子静态悬浮时就会把转子弯曲振动激发出来。

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LEYBOLD真空机组：

RUTA真空泵系统的组成，一般由WA、WS和RA型，或WAU、WSU带内置旁通管型的罗茨泵，莱宝涡轮分子泵保养联系电话，以及油封式前级泵组成，用来产生真空。

对于特殊应用比如气体回收，抽高纯气体时其洁净度要求不能被其它介质污染，因此需使用泵腔内无油的真空泵。

为获得高或超高真空环境，除了高真空泵还需要前级真空泵。莱宝真空提供即插即用的PT系列成套高真空系统。

PT DRY系列超高真空泵系统能获得无油的真空环境。其中的高真空泵采用复合涡轮分子泵，与常规分子泵相比，莱宝涡轮分子泵，可获得更好的真空。

莱宝真空开发的UNIVEX多功能镀膜机实验系统，适用于研发及中试阶段，其应用范围主要涉及真空镀膜工艺。

真空计的例行校准是质保体系的重要内容。莱宝真空的CS校准系统可使客户按其自己确定的规格和精度等级进行检查和重新校准的工作。

莱宝干式真空泵主要系列型号:

LEYBOLD莱宝 RUVAC 系列：RA 3001 (50Hz)， RA 5001 (50Hz)， RA 7001 (50Hz)， RA 9001 (50Hz)， RA 13000 (50Hz)， RA 3001 (60Hz)， RA 5001 (60Hz)， RA 7001 (60Hz)， RA 9001 (60Hz)

LEYBOLD莱宝  SOGEVAC 系列：SV 10B， SV 16B， SV 25B， SV 40B， SV 65B， SV 100B， SV 16， SV 25， SV 200， SV 300， SV 500， SV 630， SV 630F

LEYBOLD莱宝  TRIVAC 系列：D2A， D4A， D8A， D16A， D30A， D60A， D1.6B， D4B，莱宝涡轮分子泵维修多少钱， D8B， D16B， D25B， D40B， D65B， D16BCS， D25BCS， D40 BCS， S40BCS， S65BCS， D65BCS，D2C， D4C， D8C， D16C， D30C， D60C