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莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵
TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。
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leybold TW250 Leybold TW250大量应用于光盘生产线和小型镀膜生产线,复合型转子,
对前置真空要求较低,转速51600rpm .
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Leybold Turbovac Tw220/150s( Tw220-150s)分子泵,leybold涡轮分子泵维修,有人称之为Leybold Turbovac Tw220/150S(tw250-150S)涡轮分子泵是对应Leybold TDS,TD300, TD400分子泵控制器,而早期的Leybold Tw250-150对应的Leybold Cone.trol200分子泵电源,有人称之为Leybold Cone.Trol200分子泵控制器。
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