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现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分，只有两类，即：

① 容积式的干式真空泵， 例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa， 抽速为0.01～0.04m3/s。

② 动量传输式的无油真空泵，如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接，在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵，可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构，多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa， 抽速为0.02～0.15m3/s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。

氦质谱检漏仪检测开始时出现的故障

1、检漏键无效(绿色指示灯亮)

检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。

2、检漏键无效(指示灯不亮)

I/O短接插头未插入氦质谱检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时氦质谱检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。

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一般真空泵抽气体时，根据真空泵铭牌上的抽气流量数值。可以算出抽除固定容器内气体的时间。当达到该时间后，并非就能达到极限真空度。即铭牌上的真空度。一般需要多长时间达到极限真空，具体问下生产的真空泵厂家。varian T250 PUMP分子泵维修

真空泵铭牌上的真空度是真空泵达到极限真空的空气稀薄程度。你可以这样理解，正常的大气中，含有空气。当一个瓶子里面装满了空气，你用真空泵抽除 里面的气体。你抽出来的是什么气体？是大气。当一定时间内，将瓶子里的大气抽出来了，就会形成真空，瓶子里面的空气稀薄程度就是真空度。一般以大气压强Pa帕斯卡单位（简称帕）。欧洲标准有：bar（巴）、mmhg（毫米柱）等单位。varian T250 PUMP分子泵维修

真空泵由于某种原因引起电动机超负荷运转，甚至转不动，通常习惯上把这种现象就叫“卡死”真空泵发生卡死的原因是:弹簧损坏，使旋片受力不匀;装配不当，使某局部受力;由于进气口的滤网丢失或损坏，使外部脏物，金属屑、玻璃屑等落入泵腔内。此外，泵转子、旋片端面与端盖间的间隙过小，摩擦发热使旋片伸长或过热过紧的摩擦加之旋片硬度过大，与毛刺互相碾括，使端面产生深划痕，后烧结卡死。varian T250 PUMP分子泵维修

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真空泵维修，问题1、真空泵不能启动：主要表现为真空泵加电后不能启动运转。这时应首先检查真空泵的电路部分，如保险管是否烧毁、电路部分有没有元气件烧坏。varian TV 902分子泵维修

电机烧坏：主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。varian TV 902分子泵维修

'相对真空度'是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。在没有真空的状态下，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。比如，测量值为－30KPa，则表示泵可以抽到比测量地点的大气压低30KPa的真空状态。同一台泵在不同的地点测量，其相对压力值可能是不同的，因为不同测量地点的大气压是不同的，varian分子泵维修，这是各地的海拔高度、温度等不同客观条件造成的。简而言之，以“测量地点大气压”作为参照来标识的气压，称为：“相对压力”或“相对真空”。varian TV 902分子泵维修

一般真空泵抽气体时，根据真空泵铭牌上的抽气流量数值。可以算出抽除固定容器内气体的时间。当达到该时间后，并非就能达到极限真空度。即铭牌上的真空度。一般需要多长时间达到极限真空，具体问下生产的真空泵厂家。varian TV 902分子泵维修

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