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涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10-8 pa。英福康真空泵维修

正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200pa之间，可采用机械泵作为前级泵，由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400HZ之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。英福康真空泵维修

半导体器件的生产制造工艺极其复杂，需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作，例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。英福康真空泵维修

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 定电压式当感应头里的灯丝上维持一定的电压时，灯丝的温度会随真空压力而发生变化。以真空压力变高时为例，此时热传导带走的热能增加，灯丝的温度会下降，由于灯丝为高电阻温度系数材料，INFICON NT12F维修厂家，灯丝的温度变低会导致灯丝的电阻值上升，当灯丝两段的电压不发生变化的时候，英福康氦气检漏仪维修公司，会使通过灯丝的电流降低，因此电流的减少也就证明出真空压力增gao。反之，当真空压力变低时，由电流的增加可以证明出真空压力变低。INFICON NT12F维修

皮拉尼型真空计利用惠斯通电桥 Wheatstone bridge 的补偿原理，其中的一灯丝作为该电路的其中一个电阻。当灯丝所在的气体分子密度改变时，其热导率会有所不同，因此灯丝所表现的温度也会不同，间接影响电阻值的大小。固定电压，固定电流以及固定温度中以zui后一种方法做敏感。值得注意的是，不同气体的热导率不同，因此在测量的时候要刻度上需要校对。INFICON NT12F维修

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电容薄膜真空计可直接测量气体或蒸气的压强，测量值与气体种类无关、结构牢固、可经受烘烤，如对不同压强范围采用不同规头，可得到较高精度。电容薄膜真空计可用于高纯气体监测、低真空精密测量和压强控制，也可用作低真空测量的副标准。

由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。英福康真空计维修保养

 真空计（Vacuum Gauge），又名真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行*压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。

真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小歼唤。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。英福康真空计维修保养

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