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Leybold已有160年历史，1850年创立于德国，1911年发明分子泵，leybold涡轮分子泵维护，1931年Leybold标志产生一直用至今，1994年被瑞士Oerlikon收购，leybold涡轮分子泵驱动器，与其旗下的Balzer AG合并，成为全qiu真空领域的***。

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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面：压缩比与前一阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时，分子泵稳定工作，减压比保持恒定。当当前级压力升至1Pa时，子压缩比开始降低，leybold涡轮分子泵修理，而当当前级压力升至数十帕斯卡时，压缩比急剧下降，分子泵无法正常工作。

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