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真空计（Vacuum Gauge），又称真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进*气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。

INFICON BPG400英福康真空规管- INFICON英福康二手真空传感器-英福康BPG400真空探头维修 INFICON BPG400英福康真空规管电压20-28V，功率18W，适用于：解析工程，蒸发和涂覆系统，真空炉，镀膜设备，一般压力测试

按真空计测量原理分类

直接测量真空计 这种真空计直接测量单位面积上的力，有:

(1)静态液位真空计：利用U型管两端液面差来测量压力。

(2)弹性元件真空计：利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。

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 瑞士INFICON的MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计有MPG400和MPG402个型号，测量范围从?5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压)。1torr到1000torr4种可选压力单位（乇，毫，毫巴，茂名英福康真空泵，PA）数字信号处理D-SUB15针CE认证维护自由技术规范：型号VGD500。将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内，大大地降低了安装，设置和集成的复杂性。

按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

zui常用的真空计有：

用热量传递原理来实现测量的低真空计，如热偶规、热对流规、皮拉尼规（电阻规）

用电离原理来测量的高真空和超高真空计，如热阴极电离计、冷阴极电离计

用变形来测量并且不受测量气体种类影响用的薄膜计

还有校准用的麦氏计、磁浮转子计等

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根据收集氦的不同方法，正压法可分为正压吸*法和正压累积法。

正压吸qiang法：用检漏仪吸qiang扫描探测被检查产品外表面，实现漏孔的准确定位；

正压积累方法：使用具有一定密封功能的氦罩覆盖所有检测产品，使用泄漏检测器测量一定时间段前后氦罩内氦浓度的变化，实现检测产品总泄漏率的准确测量。

正压法的优缺点

正压法的优点是真空系统不需要辅助，英福康真空泵维修中心，可以准确定位，在任何工作压力下实现检测。

正压法的缺点是检测灵敏度低，检测结果不确定，受测量环境条件影响较大。

无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用，英福康真空泵养护维修，这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。与氦气相比，使用低密度的安全氢气作为检漏用的示踪气体具有很多优势。其价格非常低廉，冷柜内胆氦检漏设备，很容易在各个气体供应商处购得。现今的氢氮混合气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相当于0.1g/y，其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20，同时氦气检漏法要增加一些辅助设备，如氦气回收系统等。

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