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广州潽拓光电科技有限公司——普发TMH071-012-005X-3P涡旋分子泵

真空系统常用名称

①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

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变容真空泵

利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：

（1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。

（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。

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真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。

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干式螺旋真空泵是一种较新的阿特拉斯真空泵系列下的设备，具有可靠性高、寿命长、动平衡性能好、适应性强、多相混输等特点。它能去除腐蚀性、有毒、含尘气体和可冷凝蒸汽等气体。干泵有着广泛的应用，包括半导体工业、化学工业、薄膜工业等，这三个行业的需求是推动干式泵市场的主要动力。在欧美半导体行业，约有一半的企业采用干式真空泵代替油封式机械泵。我国半导体行业主要采用进口干式泵。因此，应加强国产干式真空泵的研发，使之成为我国真空行业新的经济增长点。

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国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。所以，普发TMH071-012-005X-3P，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。 维修普发真空泵

潽拓维修/维修/保养/销售Pfeiffer普发TMU系列：

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在分子流范围内（即低于 10-3 mbar (0.75 x 10-3 Torr) 的压力），气体分子的平均自由程远大于转子和定子叶片之间的间距（通常为十分之几毫米）。相应地，分子主要与密集的转子叶片发生碰撞，从而产生gao效的抽气作用。在层流（恒流）范围内（即高于 10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr) 的压力），分子之间的频繁碰撞会影响转子的抽气效率。  

因此，涡轮分子泵不能在大气压力下工作

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