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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel真空泵 分子泵养护
在罗茨真空泵中吸入气体被压缩的过程不是连续的,而是突然的。吸入气体随转子转动而被封闭于腔内,又随转子的旋转,使腔内的气体突然与排气口接通。由于排气一侧的气体压力较高,排气口处的气体就向腔中返冲,然后又随着转子的旋转而被驱赶排出泵外。这样的过程在每旋转一周中两个转子共进行四次排气过程。分子泵养护
虽然水泵的扬程是指两个水面的高度差,实际上还要受到管道阻力的影响,湛江Alcatel真空泵,管道阻力就会减去一部分扬程。
对离心泵来说,它有三个扬程:实际吸水扬程、实际压水扬程和实际扬程,在没指明的情况下,一般认为扬程是指两水面的高度差。
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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel真空泵 真空泵维修维护
旋片泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分,当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的,正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的,正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀),气体压强降低,泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强,因此将气体吸入。
当空间A与吸气口隔绝时,即转至空间B的位置,气体开始被压缩,Alcatel真空泵维修维护,容积逐渐缩小,*后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时,排气阀被压缩气体推开,气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转,达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担,因而提高了极限真空度。真空泵维修维护
真空机组工作原理:
真空机组是以泵为主泵,以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵,因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点,而且同时保留了罗茨泵能迅速工作,有比较大抽气速率等优点。真空泵维修维护
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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel真空泵 磁悬浮涡轮分子泵维修
含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备,在集成电路刻蚀等工艺过程中,部分工艺气体容易冷却凝结,附着在分子泵转子及内壁,造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞,影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度,降低工艺气体凝结,Alcatel真空泵维修电话,提高分子泵稳定性及寿命。 磁悬浮涡轮分子泵维修
我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击,Alcatel真空泵维修报价单,它会从电子层脱出。结 果,带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修
分子泵的工作区间是有限制的,*大启动压强也要在100pa,直接大气启动只会长期处于过载状态运行,并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修
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