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进口真空泵维修之返油：

进口真空泵返油可能是以下原因：

1、冷却水路不通畅或水压不够，导致冷却能力下降，进口真空泵上半部分变热，油蒸汽不能良好液化。解决办法将莱宝进口真空泵进水管接以4mpa的气源，吹出水垢，接出水管同样以4mpa吹。若水垢结的很多并且牢固，可通入稀盐酸。或者更换进口真空泵。

2、加热温度过高，由于进口真空泵加热器功率与额定功率不符，过高，造成蒸汽量大，可造成返油，更换电炉丝可解决。

Pfeiffer TC750德国普发分子泵电源维修，pfeiffer TC750分子泵电源的原理为:将对应24V或48V或72V or 140V直流电，转换为对应PWM电压来驱动分子泵线圈，TC750可以和Pfeiffer DCU进行通信，控制分子泵转速等。Pfeiffer TC750能控制Pfeiffer TMH1001，Pfeiffer TMH1601，普发二手泵HiPace3400， TMH2301等

进口真空泵的性能参数介绍:

1、何氏系数

泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。

2、抽速系数

进口真空泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。

3、返流率

泵的返流率单位是g/cm2.s.它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。

4、水蒸气允许量

水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指进口真空泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。

5、ZUI大允许水蒸气入口压强

ZUI大允许水蒸气入口压强单位是Pa.它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的ZUI高入口压强。

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广州潽拓光电科技有限公司——普发二手泵普发真空涡轮分子泵

Pfeiffer MVP 010-3 DC

产品优势

1.干燥、无油的真空环境

2.膜片的使用寿命长

3.低振动，低噪音

4.操作安全系数高

5.通过简易的隔膜和更换阀门实现简易的维护

6.通过双电压电机或直流驱动适用于的范围

旋片泵油主要起到密封， 润滑阀门和轴承以及对泵体冷却的作用， 建议每 12 个月更换一次泵油. 可以通过油视镜定期对泵油的颜色， 污染物， 油位进行观察. 油位建议在 1/3 -1/2 之间， 油过多会导致油外流， 过少会导致旋片泵温度过高， 易损坏. 如果泵油的颜色达到了第 5 种颜色（从左边数）， 泵油变浑浊， 必须立即更换.

抽速是分子泵的关键主要参数，提升 转速比是增加抽速更为立即的方式之一，伴随着转子动平衡技术性的发展趋势，分子泵转子可顺利地在超高速旋转下平稳运行。伴随着管理科学的发展趋势，分子泵转子原材料也发生了转变，能用硬铝合金型材、碳纤维材料、铝合金等高韧性原材料做成，这使转子的转速比获得进一步提高。

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由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，普发二手泵HiPace2300，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，云浮普发二手泵，以满足不同场合的需要。

潽拓维修/维修/保养/销售Pfeiffer普发TMH系列：

TMH064、TMH065、TMH071、TMH200、TMH260、TMH261、TMH262 、TMH301、TMH400MP、TMH520 、TMH521、TMH532、TMH1000、TMH1001、TMH1600、TMH1601、TMH261-130、TMH261-250、TMH261-250-040、TMH261-250P-3P、TMH071-010-005P、TMH071-012-005X、TMH071-012-005X-3P等

从原理上来看，涡轮分子泵是一种在壳体中快速旋转的涡轮，涡轮的各级都配备了多个转子叶片。旋转的转子叶片之间装有固定的定子盘，其叶片按相反方向放置。

通过旋转的转子叶片将动量传递到气体分子，气体分子zui初的非定向热运动变成定向运动，即从泵的进口延轴方向移动到排气口。

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