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广州潽拓光电科技有限公司——varian真空泵维修厂家真空机组维修

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多级罗茨真空泵是干式罗茨真空泵中的一种，在美日等国家较多的应用与半导体及化工行业。它的“多级”是相对于传统的一个转子的“单级”罗茨真空泵而言，形式上多个转子串联，中间由中间壁隔离形成多个相对独立的泵腔，各级泵腔通过各级的进气口与排气口相连形成气流通道。各级转子的直径和形状是相同的，但是宽度有可能相同也可能不同。不同的话高压侧方会变窄。真空机组维修

是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之，需要耐心观察和记录，从中找出故障原因，比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。真空机组维修

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轴承

主轴轴承对泵的使用寿命至关重要。逐渐磨损可能使轴的位置发生轻微的变化，直到螺钉或转子之间，或叶轮和泵壳之间发生摩擦。这将导致光斑发热，可以通过触摸检测到。轴承突然失效通常更为严重。由于叶轮轴组件不再有支撑和正确的位置，在轴承失效后，很可能立即发生对壳体和齿轮的广泛的一般损坏。磨损的迹象是过度或异常的噪音，过热的轴承，或过热的套管由旋转叶轮与套管内部接触引起的摩擦。瓦里安分子泵电源维修

二、更换油和密封件

分子泵的油和密封件也是保养的重要部分。油的质量和密封件的状态会直接影响分子泵的性能和寿命。因此，定期更换油和密封件是非常必要的。瓦里安分子泵电源维修

更换油时，需要先将泵内的油排出，然后用清洁剂和软布擦拭泵内壁和叶轮。然后再加入新的油，确保油面高度正常。更换密封件时，需要先将泵内的油排出，然后拆下密封件，清洗并更换新的密封件。注意更换密封件时，需要按照厂家的要求进行操作，以免影响泵的性能和寿命。瓦里安分子泵电源维修

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现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分，只有两类，即：

① 容积式的干式真空泵， 例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa， 抽速为0.01～0.04m3/s。

② 动量传输式的无油真空泵，如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接，在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵，可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构，多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa， 抽速为0.02～0.15m3/s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。

氦质谱检漏仪检测开始时出现的故障

1、检漏键无效(绿色指示灯亮)

检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。

2、检漏键无效(指示灯不亮)

I/O短接插头未插入氦质谱检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时氦质谱检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。

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