leybold涡轮分子泵维修-广东潽拓光电

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Leybold Turbovac TW 701复合分子泵，对应的分子泵控制器为：

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Leybold早将陶瓷轴承应用于分子泵，其rotor设计充分考虑到加工的应力，转动的叶片和定子之间只有

0.1毫米。制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时，叶片端部的速度接近超音速。

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