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萝岗区爱德华涡轮泵E2M2保养维修询价咨询「在线咨询」

询盘留言|投诉|申领|删除 产品编号:601615796                    更新时间:2025-08-30
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分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体;除了耐腐蚀型泵以外,其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体

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多轴磁力轴承系统用于在运行期间将转子维持在悬浮状态,消除了传统机械轴承因为被工艺气体污染而导致机械轴承损坏 的风险,同时将噪声和振动降至较低。

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小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。

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